质量流量测量仪用于在工艺技术领域直接测量气体通过量。在体积流量测量仪中，还需要测量温度和压力或密度，因为气体的密度或体积会因压力的不同而发生变化。与之相反，质量流量的测量并不取决于压力和温度。8703 型数字式质量流量测量仪具有一个以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述），该传感器直接在气体流中进行测量。通过这种方式可以达到非常短的设备反应时间。当前流量将通过 RS 通讯输出。可针对两种不同的气体对型号 8703 进行校准，用户可在两者之间进行转换。根据用户要求的不同，与介质相接触接头的材料可确保装置能配合所有常见工艺气体运行。
采用半导体传感器技术的直接流量测量装置，适合额定流量范围 20 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
高精度
反应快速
紧凑型结构和数字通讯